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广东福雪莱电气有限公司

Guangdong Fuxuelai Electric Co., Ltd

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产品展示

变频化学隔膜真空泵FH-20C-PR新泵

变频化学真空隔膜泵

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变频隔膜泵是一种持续、无油的气体抽送解决方案。其气体接触部分均采用特氟龙（PTFE）涂层并经碳纤维强化，具备优异的耐化学腐蚀性能。隔膜为多层复合结构，提升了韧性与强度。该泵配备四个泵头，抽速大。自主研发的自动压力控制系统可调节电机转速以维持压力稳定，实现低噪声、低振动的运行效果。
高温细丝炉体适用于光伏半导体行业硼扩磷扩工业炉体

硼扩磷扩高温工业炉体

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主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁产品的加热装置。可与美国TEMPRESS、美国TYAN、美国THERMCO、荷兰ASM、英国BTU、日本TEL等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外先进的加工工艺，选用进口材料，制作而成。可用于2-8英寸硅片的扩散工艺。
湿氧恒温槽一拖二FLS-2000A-JW2-R

湿氧系统/湿氧恒温槽系列

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湿氧恒温槽FLS-2000A-JW2-R<h2 style="line-height:27px">二次配</h2>Ø 设备电源： 交流220V<img class="anchorclass"/>、50Hz、约1.5KW。 <h2 style="line-height:27px">功能</h2>Ø 对瓶内液体高精度恒温。 <h2 style="line-height:27px"> 工作原理</h2>Ø 通过温控器PID控制恒定温度。 <h2 style="line-height:27px">使用环境</h2>Ø 地面平整，通风良好。Ø 周围无强烈振动。Ø 周围无强电磁场影响。Ø 周围无易燃、易爆、腐蚀性物质和粉尘。Ø 周围留有足够的使用及维护空间。Ø 环境温度：10℃～45℃。Ø 环境湿度：≤80%RH。
真空调节蝶阀（蝶形压力控制阀）

真空调节蝶阀（蝶形压力控制阀）

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 蝶形压力控制阀 （真空调节蝶阀） 产品特点： 蝶形压力控制阀(又名真空调节蝶阀），应用于新能源，光伏，半导体行业，基于PECVD、LPCVD应用的TopCon电池的Poly层制造。 福雪莱公司生产的蝶形压力控制阀不仅了延续了国外蝶阀的高稳定性、具有高位分辨率，而且针对国内生产的蝶阀的不足之处，改善了阀体结构，提升了阀体使用寿命，给上位机提供了丰富的控制接口。具有低功耗、宽领域应用、多样的控制方式、高分辨率、高精度控制效果的优点。
磷扩散自动补液集中供源柜FLS-301AJ系列（灰色面板）

磷源自动补液系统

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磷源自动补液系统，又称温度智能调节补液装置，是一种带补液功能的密闭型精密恒温设备，广泛应用于工业行业。
变频化学真空隔膜泵 FH-4C

变频化学真空隔膜泵

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变频化学真空隔膜泵FH-4C 耐有机试剂腐蚀，操作简单快捷，难度低，仪器性能安全稳定，智能化程度高，维护周期长。抽气能力4.6m³/h 极限真空3mbar 对于高沸点溶剂，如甲苯，DMSO等溶剂能高效压缩；能稳定控制真空度，仪器能根据溶剂自动选择真空压力。
变频化学真空隔膜泵FH-15C

变频化学真空隔膜泵

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FH-15C专为腐蚀性气体抽真空设计的三级化学隔膜泵。FH-15C具有独立八个泵头作为抽力的来源，同时具有抽气速度大和达2mbar的超高极限真空的优点。所有与被抽气体接触部件均由耐酸碱的铁氟龙材料制造，具的卓越的化学耐腐蚀性和蒸汽耐受性。使用PTFE “三明治”夹层结构的膜片增强了其可靠性和延长了其操作寿命。
厂务TEOS补液柜-双源瓶自动补液系统

磷源自动补液系统

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<h2 style="line-height:27px">功能</h2>Ø  对目标容器半自动供液。<a name="_Toc106808777"></a> <h2 style="line-height:27px">1.4 工作原理</h2>Ø  供液：利用氮气压力在密闭容器内把液体向外挤出，通过连通的管路流向目标容器。
FXL-BV3/8-05一体式不锈钢泄压阀

一体式不锈钢泄压阀

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l FXL-BV3/8-05一体式不锈钢泄压阀是一款具有泄压功能的卡套式连接不锈钢手动球阀，该球阀跟传统的球阀相比在阀体上加装了一个泄压旁通。当球阀处于关闭状态时，管路内压力大于或等于泄压值时泄压旁通自动打开，将压力排入回路之中，以此保护设备和管路内的压力在设定的压力范围之内。l FXL-BV3/8-05一体式不锈钢泄压阀结构简单，安装便捷，体积小。一体式的结构设计节省安装空间与安装时间。
FT-3000薄膜规真空绝压传感器/变送器

薄膜规

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　FT-3000真空传感器为陶瓷薄膜规，测量范围自常压至0.1mbar。作为一款绝对压力测量传感器，它与气体种类无关，非常耐腐蚀，测量精度非常出色且可以长期稳定工作。FT-3000可同时连接多达4个真空传感器，现场使用灵活自如。与外部元件的通讯是通过VACUU·BUS 数字总线系统实现的。它具有完全自动配置、统一的插头连接和长达1.8米电缆延长线等优点。除此之外，FT-3000亦可测量相对压力（使用VSK 3000真空传感器作为参比）。FT-3000系列真空压力传感器/变送器采用HELM（汉姆）硅式薄膜可变电容技术，解决了真空行业测量真空不稳定，性能突变，信号漂移等难题，该系列结构小巧紧凑，可用于严苛的工业环境，性价比高。
福雪莱风冷干式恒温槽 FHW-15AFCG

高精密恒温槽

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 福雪莱风冷干式恒温槽 FHW-15AFCG采用知名品牌温控器进行温度的恒定调节，采用高级铂热电阻（Pt100）进行数据采集，从而精确控制制冷制热的转换。具有控温精度高、波动度小、运行无振动、节能、不耗氧气、安全性高、不需制冷剂、体积小、重量轻等特点且有多种报警指示；支持OMRON RS-485通信和标准的MODBUS通信。可用于非常洁净的工作空间；仪器工作稳定可靠，操作方便安全，适用于更高要求的试验场所。广泛适用于太阳能电池，生物工程，医药，食品，化工，半导体制造等领域。为用户提供高精度的，受控的，温度均匀的恒温场源，是研究院、高等院校、工厂实验室、各种半导体设备、理想的恒温设备。
变频化学真空隔膜泵 FH-8ME

变频化学真空隔膜泵

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变频化学真空隔膜泵FH-8ME    适用环境：     变频隔膜泵主要用于无油、抽气安静及极少需要维护的场合。 <ul class=" list-paddingleft-2"><li>变频隔膜泵采用新式的连接方式，确保极低的漏率，因此在真空下有极好的抽气速度。</li><li>膜片和阀的寿命长：由高柔韧性的FKM材料构成。</li><li>根据系统的需求来调节隔膜泵的电机转速，实现精确的真空压力</li><li>减少膜片的撞击次数，进一步延长膜片和阀的寿命</li><li>更加安静，振动非常低，且能量消耗更少。</li></ul>

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