低压扩散恒温槽

1. 恒温槽

1.1 保证磷源工作温度为常温，提供了对磷源温度的精确控制，保证了稳定的蒸汽压，稳定扩散工艺

1.2 可控制三种温度范围：Cool/Heat 15°C-40°C  Heat 35°C-70°C  Ultra heat 55°C-90°C

1.3 制冷原理

底盘通过使用半导体制冷片进行制冷。

1.4 磷源通入示意图

1.5 控制模块（G.G.1-A4）

1.6 设备布局（型号：TC2000™ - Temperature controller）

2. 恒温槽温度控制系统组成

2.1 恒温槽电源控制

2.2 恒温槽电气接口

2.3 ICB板电气接口

3. 恒温槽系统监测/保护

3.1 泄露检测

注意：当泄露检测报警后，温控电源将关闭。

3.2 磷源温度监测

3.3 磷源液位检测